漂亮鄰居,北美首映
(來源:上觀新聞)
研究人??????員利用等離子體增????強原子層??漂亮鄰居沉積(PEA???LD)技術(shù)????,共形沉積了IG???ZO/HfO??x/IZ??????O疊層結(jié)構(gòu),在??????55納米溝????道長度下實現(xiàn)了????92 m??V/dec的低亞??閾值擺幅(????SS)和32????.8 ??μA/μm的導?????♀?通電流,為????實現(xiàn)2T0??C、4F2單元結(jié)??構(gòu)奠定???♂?了堅實??????的基礎(chǔ)??。
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